Chương trình theo freedata.sf.net

Gói phân tích dữ liệu microlithography có khả năng lắp bộ dữ liệu kiểu Bossung, còn được gọi là ma trận phơi nhiễm lấy nét.Từ kho từ: Thạch bản, Photolithography, Photoresist, Quá trình Window, Critical Dimension, CD, Bossu