Chương trình theo opensecs.sf.net

FREESECS là một dự án mã nguồn mở cho các tiêu chuẩn SEMI SECS. Phần mềm này được biên dịch với GNU autotools / GCC và chạy trên hệ điều hành Linux. FREESECS bao gồm HSMS-SS (SEMI E37.1), SECSII (SEMI E5), 300mm & Interfa